Décharge continue à basse pression: fonctionnement et structure, gaines électrostatiques et lois fondamentales,

Décharge radiofréquence basse pression, fonctionnement et autopolarisation des électrodes, modélisation,

Décharge d'arc : fonctionnement et modèles. Streamers, décharges couronnes. Excitation électrique,

• Technique du vide et micromécanique

Ecoulement, calcul de conductance, lois générales. Les types de pompes et les mesures de pression. Dégazage, vide limite et détecteur de fuite,

Paramètres mécaniques, comportement des matériaux. Représentation et dessin industriel, coupes, sections. Fonctions mécaniques, liaisons, réglages, structure, guidage,

• Spectroscopie et mesures laser

Compléments de spectroscopie atomique et moléculaire. Spectroscopie passive, sondes optiques linéaires. Diagnostics laser de fluides réactifs et/ou en mouvement. Interférométrie, diffusion, vélocimétrie laser. Intéractions multiphotoniques, ionisations, RIMS. Spectroscopie laser sans effet Doppler, Raman,

• Traitements plasma basse pression

Intéraction plasma-surface, phénomènes élémentaires, synergie, application a un cas pratique : la gravure. Les différents types de réacteurs plasma basse pression et les diagnostics associés. Technologies de la microélectronique : exemple pratique sur la fabrication de capacité MIS. Application en métallurgie des polymeres,

• Procédés laser

Les lasers industriels et leur mise en oeuvre, transport et mise en forme des faisceaux. Eléments de physique de l'intéraction laser-matiere,

Les procédés laser : performances, controle, procédés concurrents et couts. Usinage laser, traitements et synthese de matériaux. photochimie laser, applications médicales,

• Formation Pratique

Mise en oeuvre et caractérisation d'un laser a azote. Réacteur plasma basse pression a couplage capacitif. Fluoresecence induite par laser et diagnostic des décharges. Laser Yag, doubleur, applications,

Traitement Plasma

• Milieux réactifs

Réactivité, cinétiques en milieu hors équilibre. Excitation vibrationnelle er réactions ions-molécules. Situations diphasiques : clusters, particules, couches minces. Application auxx problemes d'environnement de dépollution,

• Génie des Procédés

Introduction aux génie des procédés. Lois de conservation, couplage cinétique chimique-bilan d'énergie, de quantité de mouvement. Intéractions fluides réactifs-solides. Modeles de réacteurs idéaux, CVD, PECVD,

• Technologies plasma haute pression

Spectroscopie et diagnostics optiques. Couplage de puissance électrique et propriétés des torches continues et radiofréquences. Modèles et simulations numériques. Technologies associées en matériaux et environnement.,

• Analyse des gaz et des surfaces

Analyse des gaz : spectrométrie de masse, chromatographie, méthodes optiques,

Analyse de surface : rayons X, spectroscopies de photoélectrons, méthodes ioniques et nucléaires, microscopies. Mini-projet sur le fonctionnement d' un Microscope Electronique a Balayage (MEB),

• Formation Pratique

4 jours temps plein de Travaux Pratiques : Arc a pression atmosphérique, Réacteur radiofréquence hélicon et gravure silicium.